透鏡的研發成功只是第一步。光

    刻機的制造難度極大，但主要的攔路虎一共有四條。第

    一是制造精度要求極高，一臺光刻機數萬個零件，要求的制造精度最少也是微米級，絕大多數精密部件要求精度達到亞微米級，極少數超高精密零部件的加工精度需要達到100納米～200納米。這

    樣高的精度，以國內現行的加工技術，根本做不到。人

    力有時而窮，八級技工的手工打磨最高精度僅能達到亞微米級，就算秉持著十年磨一劍的精神，也磨不出精度只有100微米的極高精密零件。不

    過對于鋼鐵城來說，這已經不是問題。實驗工廠新研發的自動車床、銑床、磨床等一系列加工設備，均達到了最高精度一百多納米的水平，完全達到了個別超高精密零部件的加工要求。

    第二個是高透光度的透鏡。第

    三個攔路虎，則是光刻機的行動部件。

    最后一個，就是短波激光光源。芯

    片光刻，是通過工作臺的移動，來改變光刻聚焦，對光刻膠進行刻蝕。它的運動控制部件優劣，直接決定了光刻的精度，而移動速度，又決定了產率，可以說是光刻機最核心的子系統。要

    保證最佳的對焦調整，工作臺的最小移動距離必須非常小，最好是一個納米一個納米移動。實

    際制作中當然達不到這樣的精度。

    以飛利浦最新款的光刻機為例，它的最小移動距離實際只有300納米。加上光源波長，它的光刻效果，最小線寬達到了三百五十納米。其

    他廠商差不多也是同一水平，有區別也差距不大。

    這就是當前國際最先進的光刻機制程能力。

    所謂一代設備，一代產品。